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    半導(dǎo)體行業(yè)的高速壓力調(diào)節(jié)閥采用 85 /86 系列壓力傳感器進(jìn)行精確測量
    專欄:技術(shù)支持
    發(fā)布日期:2022-06-11
    閱讀量:1841
    作者:安泰
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    在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中,采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器,使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定,并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定,基本消除了較大的流量控制偏差。
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        半導(dǎo)體行業(yè)MOCVD工藝或者LCD濺射CVD工藝中,精確的氣體分配和氣體質(zhì)量流量控制都是十分關(guān)鍵的技術(shù)。


    Key Physical Parameters in Semiconductor


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    氣體質(zhì)量流量控制

    壓力控制


        控制的關(guān)鍵點(diǎn)之一是控制分配閥前端管道的壓力值保持穩(wěn)定。


        實(shí)際使用過程中,任一管道流量的突然變化都會對其他管道產(chǎn)生壓力波動影響,從而影響流量控制結(jié)果。此情景類似于在用熱水器洗澡的時候,旁邊的水龍頭被打開了,你第一時間就感受到了壓力變化,甚至有些時候溫度變化,你會記憶更深刻些。而在MOCVD工藝以及其他類似應(yīng)用工藝中,這些氣體質(zhì)量流量變化必須控制一定的范圍內(nèi),以免產(chǎn)生過大的廢品率。




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    自動壓力調(diào)節(jié)控制

    壓力自動調(diào)節(jié)閥


        于是,采用一個響應(yīng)快速,精確控制的自動壓力調(diào)節(jié)閥就成了最佳選擇。

        上圖中采用UR高速自動壓力調(diào)節(jié)閥和傳統(tǒng)的壓力控制方式,可以很明顯地看到壓力控制區(qū)別以及后續(xù)氣體質(zhì)量流量控制效果。

        黑色爬坡下坡實(shí)線為主管道初級壓力波動曲線,淺藍(lán)色實(shí)線為控制后的次級壓力波動曲線,黑色波浪線為氣體質(zhì)量流量控制器輸出的實(shí)際流量波動曲線。在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中,采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器,使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定,并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定,基本消除了較大的流量控制偏差。




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    高速壓力調(diào)節(jié)閥采用

    85 /86 壓力傳感器

    進(jìn)行壓力測量   


    采用模擬信號輸出的緊湊型85/86系列壓力晶圓 快速準(zhǔn)確的壓力測量為高速準(zhǔn)確的壓力自動調(diào)節(jié)提供穩(wěn)定信號支持。





    • 快速測量:10%至90%頻響 0.1mS;

    • 工作溫度范圍:-40~125°C;

    • 補(bǔ)償溫度范圍:-20~85°C;

    • 接液材質(zhì):316L兼容氣體和液體;

    • 過載能力:3倍滿量程;

    • 長期穩(wěn)定性:±0.10%FS每年;



    上一頁:磁阻傳感器KMT32B用于檢測工業(yè)機(jī)床手柄的旋轉(zhuǎn)刻度,誤差低至0.05°、實(shí)現(xiàn)高精度控制
    下一頁:高精度磁性角度傳感器KMT32B用于檢測溫控器刻度盤的旋轉(zhuǎn)位置,具有非接觸式角度位移等優(yōu)勢
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