控制的關(guān)鍵點(diǎn)之一是控制分配閥前端管道的壓力值保持穩(wěn)定。

    實(shí)際使用過程中，任一管道流量的突然變化都會對其他管道產(chǎn)生壓力波動影響，從而影響流量控制結(jié)果。此情景類似于在用熱水器洗澡的時候，旁邊的水龍頭被打開了，你第一時間就感受到了壓力變化，甚至有些時候溫度變化，你會記憶更深刻些。而在MOCVD工藝以及其他類似應(yīng)用工藝中，這些氣體質(zhì)量流量變化必須控制一定的范圍內(nèi)，以免產(chǎn)生過大的廢品率。

    于是，采用一個響應(yīng)快速，精確控制的自動壓力調(diào)節(jié)閥就成了最佳選擇。

    上圖中采用UR高速自動壓力調(diào)節(jié)閥和傳統(tǒng)的壓力控制方式，可以很明顯地看到壓力控制區(qū)別以及后續(xù)氣體質(zhì)量流量控制效果。

    黑色爬坡下坡實(shí)線為主管道初級壓力波動曲線，淺藍(lán)色實(shí)線為控制后的次級壓力波動曲線，黑色波浪線為氣體質(zhì)量流量控制器輸出的實(shí)際流量波動曲線。在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中，采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器，使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定，并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定，基本消除了較大的流量控制偏差。

• 快速測量：10%至90%頻響 0.1mS；

• 工作溫度范圍：-40~125°C；

• 補(bǔ)償溫度范圍：-20~85°C；

• 接液材質(zhì)：316L兼容氣體和液體；

• 過載能力：3倍滿量程；

• 長期穩(wěn)定性：±0.10%FS每年；